以常压退火TA10机台为例，氧化温度、时间和流量进行了2次变更：

以常压退火TA10机台为例，氧化温度、时间和流量进行了2次变更：

結果 (日本語) 1:

大気アニーリング用のTA10マシンを例にとると、酸化温度、時間、および流量が2回変更されました。

結果 (日本語) 2:

常圧アニーリングTA10マシンを例にとると、酸化温度、時間、流量は2つの変更を行いました。

結果 (日本語) 3:

常圧焼なましTA 10機を例にして、酸化温度、時間と流量を2回変更しました。